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干涉测量光学材料均匀性的方法技术
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文档序号:8321763
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一种干涉测量光学材料均匀性的方法,将光学材料加工成前后表面具有一定的夹角α的样品,利用干涉仪通过五次波面测量,然后计算得到样品的光学均匀性,为绝对测量结果。特别适合于待测元件超过干涉仪测试口径的大口径元件测量。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。
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