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本发明公开了一种减小电子激励脱附中性粒子误差的极高真空测量方法，属于测量领域。所述方法采用的装置包括：真空阀门、电离规、真空室、真空泵组和四极质谱计；其中，真空阀门、电离规、真空泵组、四极质谱计分别与真空室相连；所述四极质谱计为离子源与四极...该专利属于中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所所有，仅供学习研究参考，未经过中国航天科技集团公司第五研究院第五一〇研究所授权不得商用。