下载一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法的技术资料

文档序号:8321652

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本发明公开了一种非制冷热释电线列焦平面及其制造方法,通过设计光敏元及电极的大小和结构,将光敏芯片的延伸电极区和与光敏芯片大小匹配的衬底粘结在一起,使光敏元区处于悬空状态。相邻光敏元之间刻蚀形成隔热槽,可以减小光敏元之间的热导,降低串音。读出...
该专利属于中国科学院上海技术物理研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海技术物理研究所授权不得商用。

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