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本发明涉及一种用于多晶硅生产的隔壁热耦合精馏工艺及设备，包括低压隔壁精馏塔、中压隔壁精馏塔、高压隔壁精馏塔、塔顶冷凝器和塔釜再沸器，两个精馏塔之间设置冷凝再沸器，后塔塔顶气相物料在冷凝再沸器中放热，冷凝为过冷液体后返回后塔，前塔塔釜物料在冷...
该专利属于天津大学所有，仅供学习研究参考，未经过天津大学授权不得商用。

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