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本发明公开了一种多晶硅还原炉自动控制启炉方法，采用顺序控制的方法实现自动启炉，过程主要包括氮气置换、硅芯击穿、氢气置换、氢气空烧及三氯氢硅进料。自动控制启炉过程使还原炉的运行更加稳定，气体的置换更加充分，同时也节省了大量的人力和操作时间。...
该专利属于内蒙古神舟硅业有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过内蒙古神舟硅业有限责任公司授权不得商用。

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