下载大口径复杂光学镜面精密研抛机器人系统的技术资料

文档序号:8315951

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本发明公开了一种大口径复杂光学镜面主动柔顺精密研抛机器人系统,包括:光学镜面研抛机器人模块、传感器模块、信号处理计算机模块和主动柔顺控制模块,所述研抛机器人集成研抛加工部件,主动柔顺控制模块控制研抛盘转速和研抛机器人轨迹。信号处理计算机模块...
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