下载一种等焓式退火炉保护气体加湿装置的技术资料

文档序号:8308359

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本实用新型涉及气体处理装置,尤其涉及一种等焓式退火炉保护气体加湿装置。包括加热装置和加湿装置,所述加湿装置包括一个前后贯通的加湿腔室,所述加湿腔室内设置有加湿膜;所述加湿腔室前端通过连接管与加热装置连通,后端连接出气管;所述加热装置还连接进...
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