下载压电振动器件的密封部件及压电振动器件的技术资料

文档序号:8304273

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本发明提供一种压电振动器件的密封部件及压电振动器件。所述压电振动器件的压电振动片的振动区域被多个所述密封部件气密性密封,所述密封部件中,构成所述密封部件的基材的一主面上成形有凸部。在所述基材的另一主面上,与所述凸部对应的区域为平坦面,该平坦...
该专利属于株式会社大真空所有,仅供学习研究参考,未经过株式会社大真空授权不得商用。

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