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感光性硅氧烷组合物、由其形成的固化膜和具有固化膜的元件制造技术
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文档序号:8303966
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感光性硅氧烷组合物,其含有(a)通过使通式(1)所示的有机硅烷的1种以上反应而合成的聚硅氧烷、(b)重氮醌化合物、(c)溶剂和(d)通式(2)所示的硅酸酯化合物。(式(1)中,R1表示氢、碳原子数为1~10的烷基、碳原子数为2~10的烯基、...
该专利属于东丽株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过东丽株式会社授权不得商用。
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