下载用于扩散磷源的源瓶液位传导温控系统及控制方法的技术资料

文档序号:8301420

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本发明提供一种用于扩散磷源的源瓶液位传导温控方法,包括以下步骤:1)采用传感器模块(2)实时检测源瓶(1)中的液位并获得液位数据;2)建立所述液位数据与所述源瓶内温度的对应关系;3)利用所述液位数据与所述源瓶内温度的对应关系,根据液位的变化...
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