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本发明公布了一种电热式微镜的自动测试系统，包括电动位移平台、电热式微镜测试的针头、数据采集系统、电热式微镜自动测试控制系统光路。一种电热式微镜的自动测试方法，包括电热式微镜良品率的测试、电热式微镜的老化测试和光扫描测试、电热式微镜属性测试。...
该专利属于无锡微奥科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过无锡微奥科技有限公司授权不得商用。

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