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波前测量装置和波前测量方法制造方法及图纸
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文档序号:8299880
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本发明公开了波前测量装置和波前测量方法。一种波前测量装置,包括:由光形成周期模式的光学元件,具有用于检测光的像素的检测器,以及基于检测器的检测结果来计算透过样本或被样本反射的光的波前中的多个位置处的波前信息的计算机。检测器检测由光形成的第一...
该专利属于佳能株式会社所有,仅供学习研究参考,未经过佳能株式会社授权不得商用。
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