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本发明涉及人造蓝宝石技术领域，是一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法，包括以下步骤：⑴在完成人造蓝宝石生长的准备工作后开启机械泵；⑵开启可变频分子泵；⑶关闭分子泵并向炉内充入高纯氩气；⑷在控制系统中设定炉内真空压力值；⑸分子泵运行使炉内真空压...该专利属于上海施科特光电材料有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海施科特光电材料有限公司授权不得商用。
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本发明涉及人造蓝宝石技术领域，是一种减少蓝宝石生长炉内挥发物的方法，包括以下步骤：⑴在完成人造蓝宝石生长的准备工作后开启机械泵；⑵开启可变频分子泵；⑶关闭分子泵并向炉内充入高纯氩气；⑷在控制系统中设定炉内真空压力值；⑸分子泵运行使炉内真空压...