下载一种单晶炉的技术资料

文档序号:8297917

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本发明涉及一种单晶炉,包括炉体、设置在所述的炉体内部的热场,所述的热场的包括侧壁保温层、底部保温层,所述的侧壁保温层和底部保温层包括固化毡层和软毡层。本发明通过增大热场的尺寸,以提高炉体内部有效使用空间,大大降低成品率;通过采用固化毡层和软...
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