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一种Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备方法技术
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文档序号:8297813
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本发明属于光电子信息功能材料技术领域,具体涉及一种Ga掺杂ZnO透明导电薄膜的制备方法,包括如下步骤:称取ZnO粉末和Ga2O3粉末,其中Ga占总粉末的摩尔百分含量为1~3%,将称取的粉末经预烧结和烧结处理,制得Ga掺杂ZnO靶材;将衬底和...
该专利属于东莞理工学院所有,仅供学习研究参考,未经过东莞理工学院授权不得商用。
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