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一种高弹性金属薄膜材料制造技术
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下载一种高弹性金属薄膜材料的技术资料
文档序号:8297801
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本发明公开了一种高弹性金属薄膜材料。该材料的成分主要含有镍铌元素,结构状态为非晶态。该材料是通过镍铌靶材采用磁控溅射技术制备,所用镍铌靶材是通过纯度超过99.9%的镍和铌金属在高于3*10-3Pa的真空下氩气保护熔炼而成。所形成的金属玻璃薄...
该专利属于浙江大学所有,仅供学习研究参考,未经过浙江大学授权不得商用。
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