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本发明描述了一种铟锡氧化物靶材的制备方法。该方法以纯度大于99.99%、平均粒径0.02~2微米的铟锡氧化物粉末作为主原料，与由纯水、水溶性环氧树脂和分散剂制成的预混液进行充分球磨混合得到均匀分散、容易流动的浆料，经浇注、固化和干燥后得到高...
该专利属于中南大学所有，仅供学习研究参考，未经过中南大学授权不得商用。

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