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本发明公开了一种纯水制备装置，其特征在于：包括依次通过水管（2）相互连接的石英砂罐（4）、活性碳罐（6）、超滤装置（8）和离子交换装置（10），所述离子交换装置（10）内填充有离子交换树脂。本发明使用成本低、制水品质稳定。...
该专利属于江苏矽研半导体科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过江苏矽研半导体科技有限公司授权不得商用。

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