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一种化学机械抛光设备、化学机械抛光终点检测装置和方法，所述方法包括：收集从抛光垫上流出的废液；检测所述废液中含有的需要抛光物质的含量；当废液中含有的需要抛光物质的含量满足预设条件时，输出终点检测信号。本技术方案可以有效防止化学机械抛光中的过...
该专利属于中芯国际集成电路制造（上海）有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过中芯国际集成电路制造（上海）有限公司授权不得商用。

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