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下载纳米粉体机的技术资料

文档序号:829264

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本发明涉及一种粉末加工设备,一种纳米粉体机的装置。包括真空室、设在真空室内的坩埚、等离子体产生装置、粒子收集装置及冷水循环系统等,所述等离子体产生装置为外置高频引弧装置,其等离子枪体由真空室壁伸入到真空室内的坩埚上方。所述粒子收集装置包括双...
该专利属于边浩光所有,仅供学习研究参考,未经过边浩光授权不得商用。

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