下载干涉测量编码器系统的技术资料

文档序号:8292226

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一种用于确定关于沿着编码器尺度的自由度的改变的信息的方法,包括:沿着不同的路径引导第一光束和第二光束并组合第一和第二光束以形成输出光束,其中该第一和第二光束从共同源得到,该第一和第二光束具有不同的频率,其中第一光束以非利特罗角度与编码器尺度...
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