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具有中心装载孔的晶体生长装置及用于控制自坩埚热移除的设备和方法制造方法及图纸
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下载具有中心装载孔的晶体生长装置及用于控制自坩埚热移除的设备和方法的技术资料
文档序号:8292024
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本发明提供一种晶体生长装置,包括:坩埚,其配置在支撑机构上的坩埚,且至少两个平板形成于该支撑机构下并能以协同方式移动而形成以该坩埚中所形成的锭为中心的对称孔;以及驱动机构,其用以驱动具有一个自由度的该平板。该平板于多个不连续的位置展开以形成...
该专利属于GTAT公司所有,仅供学习研究参考,未经过GTAT公司授权不得商用。
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