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本实用新型涉半导体设备领域，尤其涉及一种全自动固晶机的双丝杆与双平台的工作平台机构，其特征在于：该双丝工作平台机构包括X轴工作台、X轴滑动组件、X轴驱动组件、Y轴工作台、Y轴滑动组件和Y轴驱动组件；所述的Y轴滑动组件包括双Y轴导轨和与Y轴滑...
该专利属于深圳市因沃客科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过深圳市因沃客科技有限公司授权不得商用。

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