下载基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统的技术资料

文档序号:8288686

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本实用新型公开了一种基于MEMS技术的低频振动加速度传感器系统,包括基于MEMS技术的加速度传感器敏感元件、信号传输线、低通滤波电路和模数转换电路,所述基于MEMS技术的传感器敏感元件的信号输入端用于感应外部结构振动信号,信号输出端通过信号...
该专利属于石家庄铁路职业技术学院;杨要恩所有,仅供学习研究参考,未经过石家庄铁路职业技术学院;杨要恩授权不得商用。

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