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本实用新型公开了一种硅烷燃烧塔，其特征在于：它包括塔体，塔体腰部设有硅烷尾气进气口和压缩空气、氮气口，塔体顶部设有出气口，塔体底部设有排污口。本实用新型与现有技术相比的优点是：本实用新型解决了背景技术在生产设备运行中负压的不稳定性，前段压缩...
该专利属于苏州仕净环保设备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过苏州仕净环保设备有限公司授权不得商用。

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