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一种轴密封系统,其包括,一往复式真空泵,往复式真空泵包括一腔体,设置于所述腔体上的吸气口及排气口,一往复轴,所述腔体设有一轴孔,所述往复轴设于所述腔体的轴孔上;一轴气密腔,所述往复轴穿过所述轴气密腔;第一平衡气管,所述第一平衡管一端与所述吸...该专利属于广东华南特种气体研究所有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过广东华南特种气体研究所有限公司授权不得商用。
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一种轴密封系统,其包括,一往复式真空泵,往复式真空泵包括一腔体,设置于所述腔体上的吸气口及排气口,一往复轴,所述腔体设有一轴孔,所述往复轴设于所述腔体的轴孔上;一轴气密腔,所述往复轴穿过所述轴气密腔;第一平衡气管,所述第一平衡管一端与所述吸...