下载一种转盘式气体分配器的技术资料

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一种转盘式气体分配器,包括环形转动盘和环形固定盘;上述环形转动盘的下表面可转动地压紧在环形固定盘的上表面上;上述环形转动盘上设有多路气体通道,上述气体通道的进气口设在环形转动盘的侧面上,气体通道的出气口设在环形转动盘的下表面上;上述环形固定...
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