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一种打印头包括活动隔膜、用以使隔膜移动的压电致动器以及设置在活动隔膜上的电子电路。一种制造打印头的方法包括在电路晶片的第一侧上制造CMOS电路以及在电路晶片的第二侧中形成室,使得室的底部形成活动隔膜,并且CMOS电路被设置在与室的底部相对的...该专利属于惠普发展公司,有限责任合伙企业所有,仅供学习研究参考,未经过惠普发展公司,有限责任合伙企业授权不得商用。
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一种打印头包括活动隔膜、用以使隔膜移动的压电致动器以及设置在活动隔膜上的电子电路。一种制造打印头的方法包括在电路晶片的第一侧上制造CMOS电路以及在电路晶片的第二侧中形成室,使得室的底部形成活动隔膜,并且CMOS电路被设置在与室的底部相对的...