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下载清洗方法的技术资料

文档序号:8274528

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清洗方法包括清洗工序,该清洗工序中通过在从配置于工件(10)上侧及下侧的上喷雾喷嘴(2)及下喷雾喷嘴(4)分别喷射上清洗液(3)及下清洗液(5)的状态下,使工件(10)相对于上下两喷嘴(2、4)相对地在水平方向上移动,从而用上清洗液(3)清...
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