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本发明实现使用在可接近·分离地相对进行旋转的处理用部中的处理用面之间进行流体的处理的装置，制造控制了掺杂元素量的析出物质、特别是金属化合物的方法的提供。使用在可接近·分离地相对进行旋转的处理用部中的处理用面(1、2)之间进行流体的处理的装置...
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