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本发明涉及MEMS振子以及振荡器。MEMS振子包括：基板；第1电极，其配置在上述基板的上方；第2电极，其以至少一部分与上述第1电极之间具有空隙的状态被配置，并具有梁部以及支承部，该梁部能够通过静电力沿上述基板的厚度方向振动，该支承部支承上述...
该专利属于精工爱普生株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过精工爱普生株式会社授权不得商用。

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