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一种p型非晶硅碳-纳米颗粒硅多量子阱窗口层材料制造技术
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文档序号:8272492
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一种p型非晶硅碳-纳米颗粒硅多量子阱窗口层材料,是采用层递式沉积方法制备的由宽带隙非晶硅碳薄膜和窄带隙p型纳米颗粒硅薄膜交替生长的多层材料,非晶硅碳薄膜的厚度为2-8nm,p型纳米颗粒硅薄膜的厚度为2-8nm,如此循环沉积多次,直至形成总厚...
该专利属于南开大学所有,仅供学习研究参考,未经过南开大学授权不得商用。
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