下载一种大电流密度的横向超薄绝缘栅双极型晶体管的技术资料

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一种大电流密度的横向超薄绝缘栅双极型晶体管,包括P型衬底,在P型衬底上设有埋氧层,在埋氧层上设有N型外延层,在N型外延层内设有N型阱区及P型基区,在P型基区内设有第一P型接触区和N型源区,在N型阱区内设有N型缓冲区,在N型阱区上设有场氧化层...
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