下载一种光学元件支撑参数的蒙特卡洛分析方法及系统的技术资料

文档序号:8271582

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本发明公开了一种光学元件支撑参数的确定方法,该方法具体为:确定保证面形精度的最少支撑点数为最优支撑点数,并计算支撑点的理想支撑力;依据理想支撑力定义多个不同支撑力波动水平,计算不同支撑力水平下随机支撑力引起的镜片面形变化;统计并检验镜片面形...
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