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光子微机电系统和结构技术方案
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文档序号:8270785
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一种光学装置包括一不透明的衬底。所述光学装置进一步包括一第一光学层,其至少部分地透射且至少部分地反射入射光。所述光学装置进一步包括一第二光学层,其至少部分地反射入射光。所述第二光学层与所述第一光学层间隔开。所述第一光学层与所述第二光学层中的...
该专利属于高通MEMS科技公司所有,仅供学习研究参考,未经过高通MEMS科技公司授权不得商用。
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