下载用于搬运平板的传输系统及其机械装置和搬运方法的技术资料

文档序号:8266261

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本发明实施方式公开了一种用于搬运平板的传输系统及其机械装置和搬运方法。其中,机械装置包括机械手臂,而该机械手臂包括用以吸附第一片平板的至少一个第一真空吸嘴、用以吸附第二片平板的至少一个第二真空吸嘴以及连接第一真空吸嘴和第二真空吸嘴的回路系统...
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