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直驱式纳米级精密定位平台，它涉及微纳米定位领域，具体涉及一种直驱式纳米级精密定位平台。本实用新型为解决目前微纳米定位领域压电陶瓷直接连驱动结构器件增大压电陶瓷的损坏几率的问题。所述微动台包括台体、顶丝、顶块、封装式压电陶瓷、螺钉、柔性铰链和...
该专利属于哈尔滨芯明天科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过哈尔滨芯明天科技有限公司授权不得商用。

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