下载全光场偏振像差检测装置的技术资料

文档序号:8257227

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一种全光场偏振像差检测装置,该装置包括:全偏振态发生器、全偏振态分析器及信号处理和控制系统。本实用新型具有结构简单、共光轴且稳定、高空间分辨率和测量速度快的特点。...
该专利属于中国科学院上海光学精密机械研究所所有,仅供学习研究参考,未经过中国科学院上海光学精密机械研究所授权不得商用。

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