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本实用新型公开了磁控共溅射镀膜机，包括机架、真空抽气装置、供气装置、电源装置、温控装置、带有安全保护措施的自动控制系统，它还包括安装、双室高真空装置和送样片装置，双室高真空装置由送样室、磁控溅射室以及真空锁组成，送样片装置包括送取片机构、机...
该专利属于北京奥依特科技有限责任公司所有，仅供学习研究参考，未经过北京奥依特科技有限责任公司授权不得商用。

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