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本实用新型公开了一种用于高精密电阻式加热炉的均匀加热模块，所述均匀加热模块包括石英管和六个小电棒，六个小电棒紧密堆积在石英管外面，六个小电棒与石英管之间紧密贴合，六个小电棒串联，小电棒外面填充保温材料。均匀加热模块通过温度控制系统，真空控制...
该专利属于西安思翰光电科技有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过西安思翰光电科技有限公司授权不得商用。

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