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本实用新型提供一种更换辅助单元及处理装置，其能够按更均匀的张力安装膜片、膜片的更换容易。该更换辅助单元是在具备了形成腔的空心体和对配设在上述腔中的工件进行推压的膜片的处理装置中当更换上述膜片时配置在上述腔中的更换辅助单元，其中，形成了载置上...
该专利属于平田机工株式会社所有，仅供学习研究参考，未经过平田机工株式会社授权不得商用。

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