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波束形成装置制造方法及图纸
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文档序号:8244192
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本说明书公开了一种斩束装置,确切地说,一种用于在基于辐射的扫描系统中采用的电子束系统的螺旋遮光器,更确切地说,一种斩束装置,允许通过变更斩束装置的物理特性或几何形状而改变速度和束斑尺寸。本说明书还公开了一种斩束装置,其提供以基本不变的尺寸和...
该专利属于拉皮斯坎系统股份有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过拉皮斯坎系统股份有限公司授权不得商用。
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