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本发明提供精细图案的生产方法，其包括：(1)在基板上形成包含感光性树脂的第一树脂层；(2)在第一树脂层上形成包含仲或叔炔醇、光酸产生剂和树脂的第二树脂层；(3)将第二树脂层进行图案曝光；(4)使用第二树脂层的图案曝光部分作为掩模将第一树脂层...
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