下载制造光学检测器件的方法的技术资料

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用于制造光学检测器件的方法包括在基板(2)上产生多个金属纳米球的操作。该过程的特征在于其还包括以下操作:-在所述基板(2)上产生能够接纳所述金属纳米球的多个光刻纳米结构(4a、4b、4c),-以使得在每个光刻纳米结构(4a、4b、4c)中创...
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