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叠层的等离子体致动器制造技术
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文档序号:8243522
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本发明公开一种方法和设备,该设备包括第一数量的柔性材料层(803,804),第二数量的介电材料层(805,806),连接于该第一数量的层(803,804)的表面层的第一电极(808),和连接于该第一数量的层和第二数量的层的其中之一中的第二层...
该专利属于波音公司所有,仅供学习研究参考,未经过波音公司授权不得商用。
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