下载用于化学机械平面化的具有表面活性剂的固定磨料垫片的技术资料

文档序号:8243404

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本发明提供了一种采用结构化磨料制品形式的固定磨料垫片(100),所述垫片具有设置在背衬(110)上的结构化磨料层(120)。结构化磨料层(120)包括聚合物粘结剂、分散在粘结剂中的磨粒和分散在粘结剂中的非离子聚醚表面活性剂。所述磨粒具有小于...
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