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本发明公开了一种柔性薄膜晶体管的绝缘层及其制备方法，所述柔性薄膜晶体管的绝缘层为在基板上形成的碳氢聚合物的薄膜，该绝缘层的制备方法采用氢气和乙炔气体作为原料，在室温和真空条件下的PECVD系统中于所述基板之上沉积形成碳氢聚合物的薄膜，完成柔...
该专利属于上海交通大学所有，仅供学习研究参考，未经过上海交通大学授权不得商用。

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