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本发明涉及微电子机械系统传感器和补偿微电子机械系统传感器中的正交误差的方法，其中该传感器用于检测基板运动，特别是检测基板的加速度和/或转动速率。至少一个放置于基板上的物体借助传动电极来驱动，并且物体相对于基板运动地安置。由于存在正交误差，所...
该专利属于马克西姆综合产品公司所有，仅供学习研究参考，未经过马克西姆综合产品公司授权不得商用。

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