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改进的涂敷设备和涂敷方法技术
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文档序号:8238499
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本发明公开了一种改进的涂敷设备和涂敷方法。根据本发明的涂敷设备包括:夹具,所述夹具具有用于接收多个基板的多个接收部件,以及设置在所述多个接收部件底部的、用于释放所述多个基板的多个释放孔;安装有所述夹具的吸台;位于所述吸台上的喷嘴装置,用于按...
该专利属于纳瑞精密设备有限公司所有,仅供学习研究参考,未经过纳瑞精密设备有限公司授权不得商用。
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