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本发明公开一种用于对准系统的参考光栅空间像调整装置，沿光线传播的方向依次包括：光源，用于提供照明光束；偏转平板，用于改变照明光束的倾斜角度；曝光对象，所述曝光对象含有至少一个对准标记；光学元件单元，用于将所述对准标记的衍射光束干涉成像在参考...
该专利属于上海微电子装备有限公司所有，仅供学习研究参考，未经过上海微电子装备有限公司授权不得商用。

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